SCD-Universite de Rennes 1 Réalisation de micro-chambres d’analyse chimique : microcapteurs de pH et microfluidiques associés Fabrication of micro-chambers for chemical analysis : pH microsensors and microfluidic associated microcapteursPolydiméthylsiloxanemicrofluidiquepHmicrotechnologieTransistors à effet de champ microsensorsPolydiméthylsiloxaneMicrofluidicspHMicrotechnologyFieldeffect transistors Microcapteurs Thèses et écrits académiques Polydiméthylsiloxanes Thèses et écrits académiques Microfluidique Thèses et écrits académiques pH Thèses et écrits académiques Ce travail porte sur la réalisation d'un système d'analyse chimique constitué d'un réseau de micro-chambres abritant des microcapteurs de pH de type transistors à effet de champ à grille suspendue très sensibles aux charges contenues dans l'espace sous le pont-grille. Les transistors à grille suspendue ont été fabriqués en utilisant les procédés de la microtechnologie de surface. Une couche d'isolation finale a été choisie afin de permettre l'utilisation de ces transistors en solution comme capteurs de pH. L'intégration des canaux microfluidiques réalisés en Polydiméthylsiloxane (PDMS) sur les transistors à grille suspendue ont permis d'effectuer une série de mesures de pH, soit en statique, soit en flux continu et de travailler sur les conditions optimales de rinçage des capteurs. L'effet de la hauteur de gap sous le pont de grille sur la sensibilité au pH est présenté. Par ailleurs, de premières mesures dans le domaine fréquentiel ont pu être faites sur des transistors sans et avec les microcanaux en PDMS. Ceci nous a permis d'observer un comportement fréquentiel particulier et dépendant de l'ambiance autour des transistors, et en particulier du pH, ce qui permet de développer une nouvelle méthode de mesure du pH. This work presents the achievement of a chemical analysis system consisting of an array of micro-chambers containing pH microsensors based-on suspended gate field effect transistors particularly sensitive to charges contained in the space under the gate-bridge. The suspended-gate transistors were fabricated using surface microtechnology processes. A final insulating layer was chosen to allow the use of these transistors in solution as pH sensors. The integration of microfluidic channels made ​​of Polydiméthylsiloxane (PDMS) on the suspended-gate transistors, have allowed performing a set of pH measurements in both static or continuous flow, and working on the optimal conditions for sensors rinsing. The effect of the gap (area under the suspended bridge) height on pH sensitivity is also presented. Then, first measurements in small signal regime have been made on transistors with and without the (PDMS) microchannels. These have allowed us to observe their frequency particular behavior depending on the sensor environment and especially its pH, and to develop a new method for pH measuring. Electronic Thesis or DissertationText fr application/pdf1 : 5134 Kohttps://ecm.univ-rennes1.fr/nuxeo/site/esupversions/da3b21e6-21c0-486a-b307-a37378ba4057 Kherrat Abdelghani 1981-11-11 FR 163521042 2012REN1S033 http://www.theses.fr/2012REN1S033 2012-05-31 Électronique Universite de Rennes 1thesis.degree.grantor_1 02778715X Université européenne de Bretagnethesis.degree.grantor_2 139075119 Doctorat non ouiLe BihanFranceintervenant_111116530XRazanFlorenceintervenant_2104417684 Mathématiques, informatique, signal, électronique et télécommunicationsecoleDoctorale_1 139007164 ddc:530 ddc:620 Le BihanFranceRazanFlorenceUniversite de Rennes 1Sciences et technologie, medecine, pharmacie, odontologie, droit, economie, gestion, philosophieUniversité européenne de BretagnePôle de recherche et d'enseignement supérieur de BretagneMathématiques, informatique, signal, électronique et télécommunicationsÉcole doctorale Mathématiques, informatique, signal, électronique et télécommunications (Rennes) ASCII PDF 5257477