Université de Rennes 1 Deformation microsensors on flexible substrate for health applications Microcapteurs de déformation sur substrat souple pour des applications en santé jauge de contraintesilicium microcristallinsubstrats souples strain gaugemicrocrystalline siliconflexible substrates Microcapteurs Silicium -- Substrats Ce travail de recherche porte sur la fabrication de microcapteurs de déformation sur substrat souple. Les dispositifs sont élaborés et optimisés dans l’objectif de détecter de faibles déformations en temps réel et peuvent trouver des applications en santé en particulier via l’acquisition de faibles signaux électrophysiologiques pouvant être détectés par une déformation, par exemple à la surface de la peau. Le travail comprend le développement technologique des capteurs réalisés sur des substrats souples de très faible épaisseur (Kapton de 25 µm d’épaisseur), à partir de silicium microcristallin déposé par PECVD ou par ICPCVD. Pour chaque type de dépôt, les études de contraintes mécaniques et de stress sont exposées, en particulier via la détermination du facteur de jauge. La caractérisation dynamique des capteurs est réalisée via le développement d’un banc de test spécifique pour les mesures reproductibles de déformation. Les résultats permettent de déterminer des géométries optimisées, capables de suivre en temps réel des déformations complexes allant jusqu’aux signaux de type ECG. Des matrices de capteurs sont également réalisées et testées. This work focuses on the processing of mechanical sensors on flexible substrates. The devices are designed and optimized with the objective of detecting small deformations in real time. They can be applied for health signal acquisition, in particular small electrophysiological signals that can be detected by deformation, for example on the surface of the skin. The work includes the technological development of sensors made of microcrystalline silicon deposited by PECVD or ICPCVD on very thin flexible substrates (Kapton 25 µm thick). For each type of deposition, mechanical stress studies are presented, in particular through the determination of the gauge factor. The dynamic characterization of the sensors is carried out through the development of a specific test bench for reproducible real-time deformation measurements. The results make it possible to determine optimized geometries, capable of monitoring complex deformations in real time, up to ECG-type signals. Sensor matrices are also produced and tested. Electronic Thesis or DissertationText en application/pdf1 : 7572 Kohttps://ged.univ-rennes1.fr/nuxeo/site/esupversions/1c921ccd-f54c-4e4a-ab7a-f49ff2cec819 Garcia Castro Fatima 1990-03-01 ES 24818573X fatimagarciacastro@hotmail.com 2019REN1S100 http://www.theses.fr/2019REN1S100 2019-12-12 Électronique Universite de Rennes 1thesis.degree.grantor_1 02778715X Doctorat non ouiLe BihanFranceintervenant_111116530X MATHSTICecoleDoctorale_1 204770424 Universite Bretagne LoirepartenaireRecherche_1 191639044 IETR partenaireRecherche_2 149256035 ddc:620 Le BihanFranceUniversite de Rennes 1Sciences et technologie, medecine, pharmacie, odontologie, droit, economie, gestion, philosophieMATHSTICÉcole doctorale Mathématiques et sciences et technologies de l'information et de la communication (Rennes)Universite Bretagne Loire Communaute des etablissements d enseignement superieur et de recherche (ComuE) IETR ASCII PDF 7754007